Инжиниринговый центр
Цифровые платформы
Научное оборудование для атомно- (молекулярно) слоевого осаждения и травления покрытий. Подробнее
Широкоапертурный источник низкоэнергетичных ионов на основе плазменно-пучкового разряда для прецизионных технологий атомно слоевого травления материалов наноэлектроники. Подробнее
Технологии получения ультратонких пленок феррита висмута для устройств энергонезависимой памяти. Подробнее
