
Технические характеристики
Отличительной особенностью, разработанной нами технологии, является использование сапфировых подложек с микро- и нанорельефом. Кроме того, обычно получают пленки в одном цикле непосредственно стехиометрии BiFeO3 из металлорганических соединений Bi и Fe. В отличие от них, мы используем циклы послойного осаждения оксида железа и оксида висмута, а далее путем отжига формируем фазу феррита висмута высокого совершенства.
Преимущества
Преимущества метода особенно заметны там, где комбинация точности учета числа атомных слоев одновременно с легким контролем летучих компонентов, масштабируемостью, ценой и универсальностью конформного осаждения, связанного с процессом ограничения скорости реакции на поверхности подложки, являются важными факторами.
Используемый метод атомно-слоевого осаждения легко и быстро реализуется, низкоэнергозатратный и позволяет получать пленки BiFeO3 с улучшенными по сравнению с керамикой магнитоэлектрическими свойствами.